Hệ thống xử lý nhiệt kết tinh Laser Excimer LineBeam

☆☆☆☆☆ ( 0 đánh giá ) 1909 lượt xem

Hệ thống laser excimer cho các ứng dụng xử lí nhiệt kết tinh. Hệ thống LineBeam được áp dụng trong công nghệ xử lí nhiệt các màng silicon vô định hình chiều dày từ 50 nm tới 120 nm bằng laser excimer (ELA) trên tấm kính nền màn hình phẳng được chuyển giao vào trong quy trình sản xuất quy mô công nghiệp trong giữa những năm 90 của thập kỉ trước. Kĩ thuật nói trên được áp dụng thậm chí trên cả những hệ thống Line beam cho những phạm vi xử lí nhiệt lớn hơn, sử dụng các laser excimer thế hệ mới với năng lượng xung tăng dần theo thời gian.

Tags: xử lý nhiệt

Chọn sản phẩm

THÔNG TIN CHUNG

Các tính năng nối bật của hệ thống LineBeam

- Độ đồng nhất ngoại quan chùm tia tuyệt vời

- Tuổi thọ vận hành hệ thống quang học đáng kinh ngạc

- Công nghệ đã được chứng minh trong công nghiệp chế tạo màn hình; Được áp dụng rộng rãi trên toàn thế giới

- Công nghệ tiêu chuẩn cho quy trình xử lí nhiệt vật liệu silicon (LTPS-LCD, OLED)

Phụ kiện cho hệ thống LineBeam

- Thiết bị làm nhẵn cỡ micro

- Bộ điều hưởng theo trục ngắn chất lượng cao

- Bộ định hình chùm tia

- Mô-đun mở rộng xung

- Bộ ổn định chùm tia

- Bộ phát chùm tia đối xứng

- Bộ giám sát trực tuyến theo trục ngắn

- Bộ giám sát CB E-Sigma

- Bộ giám sát cửa vào ống kính P-Lens

- Bộ giám sát SB E-Sigma

THÔNG SỐ KỸ THUẬT

Tên model	LineBeam 465	LineBeam 750	LineBeam 1000	LineBeam 1300
Bước sóng (nm)	308	308	308	308
Năng lượng xung laser (mJ)	1050	2000	4000	4000
Max. Tần số lặp xung (Hz)	600	600	600	600
Mật độ năng lượng (mJ/cm²)	350	430	435	435
Độ dài chùm tia (mm)	465	750	1000	1300
Độ rộng chùm tia (µm)	350	400	580	450
Độ đồng nhất theo trục dài (%, 2 sigma)	1.8	1.8	1.8	1.8
Độ nghiêng theo trục ngắn (µm)	125	125	125	125
Độ sâu tiêu cự (µm)	±150	±150	±120	±120

Các giải pháp gia công bằng tia UV	Bước sóng (nm)	Hình dạng chùm tia	Kích thước chùm tia- xấp xỉ	Mật độ năng lượng - xấp xỉ	Tùy chọn Laser
UVblade	308	Vạch	(250-750 mm) x 0.3 mm	0.3 J/cm²	LEAP, LAMBDA SX
LineBeam	308	Vạch	(750 - 1300 mm) x 0.4 mm	0.4J/cm²	VYPER, TwinVYPER
VarioLas	193, 248, 308	Vạch hoặc Hình chữ nhật	50 mm x 0.6 mm hoặc 2 mm x 2 mm	0.2-5 J/cm²	COMPexPro, LPXpro
GeoLasPro	193	Điểm tròn	4-160 µm	1-45 J/cm²	COMPexPro