● Cho ảnh EBAC chất lượng cao với bộ khuếch đại vi sai chất lượng cao EBAC ba82g sáng chế của Hitachi.
● Giao diện người dùng GUI (Graphical User Interface) trực quan với nhiều ảnh và tính năng xử lý màu sắc.
● Phạm vi xác định, quang sai thấp, súng điện tử Phát Trường Lạnh (CFE) để thu ảnh ở điện thế thấp và giảm sự phá hủy của chùm tia cho mạch điện.
● Đầu dò nano có độ chính xác cao.
● Vị trí thô của đầu dò được giám sát bằng một hệ thống máy quay CCD đặt bên trong buồng mẫu.